在國外某些發達國家八十年代時就已經開始對工業化微波真空干燥設備研究開發，并在實際應用中取得良好的效果。隨著技術的的進步微波真空干燥設備為制藥工程、生物工程、化工工程、材料工程以及農副產品深加工提供了一種新型、高效的干燥設備。
真空干燥時物料的脫水是依靠熱傳導將外來熱量傳遞給被干燥物料的，而在低氣壓環境下，用對流方式進行熱傳遞速度較慢，妨礙了真空干燥優點的發揮。微波干燥設備是利用介電加熱原理，依靠高頻電磁振蕩來引發分子運動，使被加熱物發熱，加熱方式有別于傳統的對流、傳導與輻射，系微波直接對物體進行加熱，傳熱這一限制因素被打破。微波真空干燥把微波干燥和真空干燥兩項技術結合起來，充分發揮各自優勢，在一定的真空度下水分擴散速率加快，可以在低溫條件下對物料進行干燥，較好地保持了物料的營養成分。微波可為真空干燥提供熱源，克服了真空狀態下常規熱傳導速率慢的缺點，因而大大縮短了干燥時間，提高了生產效率。
　   微波真空干燥設備干燥具有以下七大優點：
　　1、高效常規的真空干燥設備都采用蒸汽進行加熱，需要從里到外進行加熱，加熱速度慢需要耗費大量的煤，而微波真空干燥設備采用的是電磁波加熱，無需傳熱媒介，直接加熱到物體內部，升溫速度快，1千瓦的微波能在3-5分鐘內將常溫下的水加熱到100℃，避免了上述缺點，所以速度快、效率高、干燥周期大大縮短，能耗降低。與常規干燥技術相比可提高工效四倍以上。
　　2、加熱均勻由于微波加熱，是從內到外對物料進行同時加熱，物料的內外溫差很小，不會產生常規加熱中出現的內外加熱不一致的狀況，從而產生膨化的效果，利于粉碎，使干燥質量大大提高。
　　3、易控，便于連續生產及實現自動化，由于微波功率可快速調整及無慣性的特點，易于即時控制，可以在40℃-100℃之間任意調節溫度。
　　4、備體積小，安裝維修方便，不用占太大的場地。
　　5、微波真空干燥設備質量好，微波真空干燥設備在延長食品的保質期、保存食品原有的風味和營養成分、保留原料的生理活性、增強保健食品的功能性、提高農產品的附加值等方面。與常規方法相比，所加工的產品質量有較大幅度的提高。
　　6、微波真空干燥設備微波具有消毒、殺菌的功效，產品安全衛生。保質期長。
　　7、微波真空干燥設備經濟效益顯著。傳統的干燥所需的時間很長、速度很慢、能耗大、加工費用高。采用微波加熱，可以節約大量的能源、提高加熱和干燥的速度。這是因為微波具有穿透性，在對物體加熱時，不需要任何傳媒，且可對物料內外同時加熱。根據國內外資料顯示，采用微波設備對物料加熱，其速度和效能是常規加熱方法的4~20倍。
　　綜上所訴，微波真空干燥機的節能、降耗、提高產品質量、安全衛生、設備投資成本低等諸方面即可看出其經濟效益和社會效益的顯著。微波真空干燥技術加工溫度低、營養成分損失率低、脫水效率高，因此對含水率較高的水果蔬菜進行脫水加工時，更能發揮其優勢。